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SF6氣體抽真空充氣裝置作為一種絕緣氣體，具有無毒、不可燃，以及良好的絕緣特性，其絕緣強度大大高于傳統的絕緣氣體，并具有良好的滅弧性，因此廣泛應用于SF6電器。由于SF6氣體價格昂貴，且在電弧、電火花和電暈放電的作用下，會分解產生有毒成份。因此SF6電器設備應用時需要將SF6氣體回收。本裝置就是為了制造和維修SF6電器設備時，回收和充加SF6氣體的一種設備。

SF6氣體抽真空充氣裝置GIS真空泵技術參數：

1、回收

回收初壓力≤0.8MPa

回收終壓力≤50KPa

回收時間：對初壓力0.8MPa的1 m3 SF6氣體容積，回收至終壓力50KPa，回收時間小于2.5小時。

2、充氣

對初壓力為133Pa的1 m3 SF6氣體容積充至0.8MPa，充氣時間小于0.8小時。

3、抽真空

裝置極限真空度小于等于10 Pa

對初壓力為0.1MPa的1 m3 SF6氣體容積抽真空至133Pa所需時間小于1.0小時。

4、貯存

貯存容器容積0.015m3

名義液態貯存量50kg

高貯存壓力3.8 MPa

5、凈化

對含水量1000PPM（體積比）以下的SF6氣體，經本裝置一次回收凈化后，水份小于60PPM（重量比），油份小于10PPM（重量比）

6、年泄漏率≤1%名義儲存量

7、噪聲≤75dB(A)聲壓級

8、工作環境溫度  -10°—40℃

9、功率≤5KW

10、電源：交流三相五線制  50HZ 380V±10%

11、重量約400 kg

12、外形尺寸（長×寬×高）：1360×800×1300

SF6氣體抽真空充氣裝置GIS真空泵主要功能

● 對裝置本機以及電器設備、貯罐、抽真空和真空度的測量

● 對電器設備中的氣體進行回收

● 對回收和回充的SF6氣體進行干燥、凈化處理

● 對SF6電器進行充入SF6氣體

● 對電器中SF6氣體進行壓縮液態貯存